濕法清洗機具有以下先進技術:
1.系統(tǒng)集成技術
2.自動精確配液、傳輸及精準控制技術
3.材料與化學藥液工程防護技術
4.結構系統(tǒng)模塊化控制技術
5.晶片自動傳輸及自動清洗控制技術
6.工藝槽流體均勻性控制技術
7.產(chǎn)品、人員安全防護控制技術
主要技術特點:
控制方式:采用進口高性能PLC和觸摸屏或工控機實現(xiàn)集中控制,結合單元功能增加快捷按鈕控制簡化操作
槽體配置:材料:NPP、PVDF、一體成型PTFE、 進口石英、PVC、316L不銹鋼等多種材料
槽體功能:恒溫控制(加熱/制冷)、循環(huán)過濾、自動配液/補液、抖動、旋轉、超聲/兆聲、溢流、三級清洗、快排、鼓泡、干燥等
定制設計:根據(jù)用戶要求提供工藝配置及工藝技術支持